主要用途:
微电子产品生产用高纯水,半导体、显象管制造业用超纯水,集成电路板生产清洗用超纯水,蓄电池、锂电池、太阳能电池、干电池等生产用水。
工艺流程一:反渗透+混床
工艺流程二:反渗透+EDI设备
半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的纯水、高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高,线宽越窄,对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子水质技术分为五个行业等,分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以区分不同水质。
电子工业超纯水的应用域
1、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路成品、半成品用超纯水;
2、超纯材料和超纯化学试剂勾兑用超纯水;
3、实验室和中试车间用超纯水;
4、汽车、家电表面抛光处理;
5、光电子产品;
6、其他高科技精微产品;